MMLAB-prob-2型探针系统是MMLAB-prob系列朗缪尔探针系统的双探针型号。MMLAB-prob系列朗缪尔探针系统基于虚拟仪器原理设计,具有硬件结构简单、可靠性强、抗扰动能力强等优点。MMLAB-prob系列朗缪尔探针系统的软件界面友好,操作简便,实现诊断与数据处理全过程自动化。
1.系统硬件构成
MMLAB-prob-2型探针系统硬件由探针、驱动采集单元和计算机构成(图1)。其中,驱动采集单元一端通过USB接口与计算机连接,另一端有电缆与探针连接,其作用一是按照计算机的指令生成扫描信号,放大后为探针提供偏置,二是采集探针的电压电流值并输入计算机。
与其他朗缪尔探针产品相比,我们的探针有以下几个独具的特点:
1.型号齐全
包括@单探针、双探针、三探针、谐波探针和发射探针等,能够最大程度满足用户需要。
2.支持定制
我们支持针对用户设备结构和测量需要单独设计定制探针结构。
3.技术领先。
1)便携设计,业内最小,连接电脑即可工作@ ,不需要另接电源。
2)采用球面探针,空间分辨率更高,测量更准确,对等离子体扰动更小。
3)悬浮双探针技术,探针回路独立于放电回路,能够解决高电势下等离子体诊断的问题。
4)谐波探针诊断技术,通过检测位移电流,使探针能够对绝缘薄膜沉积环境的等离子体进行诊断。
5)时间分辨诊断技术,能够达到12.5ns的时间分辨率。