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北京恒奥德仪器仪表有限公司
HAD-TS-2
沈阳大学
详细说明
便携式四探针测试仪/四探针检测仪/电阻率检测仪 型号:HAD-TS-2
测量范围宽、精度、稳定性好、结构紧凑、易操作的便携式设计
体积仅为:125mm(宽)*145mm()*245mm(深)
HAD-TS-2/TS-2A型便携式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多ξ 用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法家标准并参考美 A.S.T.M 标准而●设计的,用于测量硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻的小型仪器。
仪器采用了新电子技术行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等点。如有需要可加配测试台使用。
本仪器广泛应用于太阳能单晶(多晶)生产厂家为硅材料的分选测试,半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、等院校对半导体材料的电阻性能测试。
技 术 指 标 :
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便携式四探针测试仪按测□量范围可选配HAD-TS-2型或HAD-TS-2A型,区别:测量范围不样。
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HAD-TS-2测量范围
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电阻率:0.01~1999.9Ω.cm;
方块电阻:0.1~19999Ω/□;
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HAD-TS-2A测量范围
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电阻率:0.001~199.99Ω.cm;
方块电阻:0.01~1999.9Ω/□;
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HAD-TS-2恒流源
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电流量◇程分为100μA、1mA两档,各档电流连续可调
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HAD-TS-2A恒流源
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电流量程分为1mA、10mA两档,各档电流连续可调
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数字电压表
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量程及表示形式:000.00~199.99mV;
分辨力:10μV;
输入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1% ;
显示:四位半红色发光管数字显示;性、量程自动显示;
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四探针探头基本指标
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间距:1±0.01mm;
针间缘电阻:≥1000MΩ;
机械游移率:≤0.3%;
探针:碳化钨或速钢Ф0.5mm;
探针压力:5~16 牛顿(总力);
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四探针探头应用参数
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(见探头附带的合格证)
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模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87行)
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1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
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整机测量大相对误差
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(用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试)≤±5%
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整机测量标准不确定度
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≤5%
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外型尺寸
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125mm(宽)*145mm()*245mm(深)
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标准使用□ 环境
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温度:23±2℃;
相对湿度:≤65%;
无频干扰;
无强光直射;
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