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椭圆偏振测厚仪 椭圆测厚仪 型号：XRS-SGC-1A
指标：
编号
名称
参数
1
测量范围
1nm-300nm
2
测量最小值
≤1nm
3
入射角
30°～90°误差≤0.1°
4
偏振器方位角读ω数范围
0°～180°
5
度盘刻度
每格2度
6
游标最□ 小读数
0.05°
7
光学中心高度
152mm
8
工作台直径
φ70mm
9
外形尺寸
730mm×230mm×290mm
10
主机重量
20kg
