KDM-100A是参照德国din标准DIN50448:“Determination of the resistivity of using a capacitor semi-insulating semiconductors利用电「容测定半绝缘半导体的电阻率”设计的半绝缘半导体电阻率测试仪,并取得了中华人民共和国知识产权局专利。半绝缘半导体有着广阔的应用前景,在能源、国防安全、新一♀代信息技术和人类生活等各个方面产生巨大的影【响。半绝缘半导体电阻率在106~109Ω·cm,传统的四探针法已经无法测量。非接触的测量方法,无需切割样品和制备电极,因此测量迅速便捷,有利于第2,3代半导体的生产和研究,也可以使学生通过实验以全新的理念和途径测量半绝缘半导体的♂电阻率。
性能指标:
样品台:100mm×100mm
测量方式:单点测量或通过X-Y轴手动■滑台进行多点测量
X-Y轴重复定位精度:20µm
X-Y轴移动速度:最大每秒40mm
最大扫描点数:1024×1024
探头高度调整:手动调整
探头手动调节精度:1µm
遮光罩:测试区域配置遮光罩
可测电阻率范围:1×106~109Ω·cm(可扩展)
探针直径:1mm或2mm
重复性(同一测◎试点):1×106~109Ω·cm以内<5%
读数方式:配置工控机及测试软件系统,自动采集数据并计算、保存测〗试结果,可导出测试⊙数据
操作系统:支持win7
可测样片直径:10mm~100mm
可测样☉片厚度:250µm~5000µm
样片表面:锯面、腐蚀面或抛光面♀,粗糙度小于10µm
样品厚度:总厚度变ㄨ化<25µm