主要参数
| 型号 | MPT-6JN/RL050 |
| 运动自由度 | X,Y,Z ;θx,θy,θz |
| 行程范围(μm±20%) | 50，50，30 |
| 转角范围(mrad±20%) | 0.6，0.6，1 |
| 位移分辨率(nm) | 0.6，0.6，1 |
| 重复定位精度(nm) | -/50，-/50，-/30 |
| 运动方向上刚度(N/μm±20%) | 50 |
| 最大负载(Kg) | 5 |
| 固有频率(Hz±20%) | 1500 |
| 工作温度范围(℃) | -20 ～ 80 |
开环〖工作台推荐匹配电源型号：HPV-3C0150A0500;闭环工作台推荐匹配电源型号：PPC-2CR0150
