设备描述
CVD1200C-II-SL200D50-5Z双温区滑轨式CVD系统由双温区滑轨炉、质子流▼量控制系统、真空系统三部分组成。双温区滑轨炉可移动并可实现快速升降温;PLC控制5路质子流量器,能够精确控制系统的供气;真空泵可实现对管式炉快速抽真空。CVD(化学气象沉积系】统)常用于表面材料生长、沉积,是一款实验室常用设备
技术参数
双温区滑轨炉LFT1200C-II 200D50-5Z |
炉体结构 |
该设备采用双层壳体并带有风冷系统,使其炉体表面【温度都小于55℃ 炉底安装一对滑轨,可手动√滑动,以便满足特殊工艺的快速升降温的求。 |
炉管尺寸 |
Φ50/60/80/100×1400mm(可提◤供特殊定制。) |
|
功率 |
5kW |
|
输入电压 |
220VAC单相50/60Hz |
|
加热元件 |
Cr27Al7MO2(掺钼铁铬铝合金) |
|
最高温度 |
最高温度:1200℃ 额定温度:1100℃ |
|
升温速率 |
≦10℃/min(推荐) |
|
加热区长度▅度 |
两个加热区的长度▆都是200mm 分别由■独立的温控系统控制 |
|
恒温区长 |
100+100mm(±1℃) 可获得较长恒温区间 |
|
控温精度 |
±1℃ |
|
快速连接法兰 |
Φ50快结式不锈钢真空ㄨ法兰
打开法兰直接卸下卡箍即可,取放样□ 品方便 |
|
五路质子流量控制系统 MFC-5Z
|
电压 |
220VAC单相50/60Hz |
针阀材质 |
316不锈钢 |
|
量程 |
50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm(可根据工艺要求提供多种量程选择) |
|
工作温度 |
5~45℃ |
|
外型尺寸 |
600(L)x600(W)x700(H)mm |
|
电压 |
AC220V/50Hz单相 |
|
功率 |
23W |
|
真空系统 LVU-10 |
壳体尺寸 |
600(L)x600(W)x700(H)mm |
最大承◎载量 |
1000Lbs |
|
抽气速率 |
10m³/h 极限真空度:10-1Pa 双层立式油污过滤器(PE材质)与¤真空泵连接 |
|
质保期 |
一@年质保期,相关耗材除外,如炉管,密々封圈加热元件等易耗件 |
|
使用注意事项 |
炉管内气◤压不可高于0.02MPa 当炉体温度◥高于1000℃时,炉管内不可处于真♀空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加≡热石英管的冲击 石英管的长时间使用温度<1100℃ 对于样←品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气〇阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数№,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开↑泄气阀,以防意外发↓生(如炉管破裂,法兰飞出等) |