设备描述
CVD1200C-II-SL200D50-5Z(含预热器)双温区滑轨式CVD系统由预热炉、双温区滑轨炉、质子流量控制系统、真空系统三部分组成。双温区滑轨炉可移动并可实现快速升降温；PLC控制5路质子流量器，能够精确控制系统的供气；真空泵可实现对管式炉快速抽真空。CVD（化学气象沉积系统）常用于表面材料生长、沉积，是一款实验室常用设备
技术参数
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双温区滑轨炉LFT1200C-II 200D50 |
炉体结构 |
该设备采用双层壳体并带有风冷系统，使其炉体表面≡温度都小于55℃ ·炉底安装一对滑轨，可手动滑动，以便满足特殊工艺的快速升降温的要求。 |
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炉管尺寸 |
Φ50/60/80/100×1600mm(可提供特◥殊定制。) |
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功率 |
5kW |
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输入电压 |
220VAC单相50/60Hz |
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加热元件 |
Cr27Al7MO2（掺钼铁铬铝合金） |
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最高温度 |
最高温度：1200℃ 额定温度：1100℃ |
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升温速率 |
≦10℃/min（推荐） |
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加热▂区长度度 |
·两个加热区的长度都是200mm ·分别由独立的温控系统控制 |
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恒温区长 |
·100+100mm（±1℃） ·可获得较长恒温区间 |
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控温精度 |
·±1℃ |
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快速∩连接法兰 |
·Φ50快结式不锈钢真空法兰
·打开法兰直接卸下卡箍即可，取放样品方＠ 便 |
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预热炉 |
功率 |
·1kw |
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加热区 |
·100mm |
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最高温度 |
·1200℃ |
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工作温度 |
·200-800℃（可根据实际工艺需求调整） |
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五路质子流量控制系统 MFC-5Z |
电压 |
220VAC单相50/60Hz |
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针阀材质 |
316不锈钢 |
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量程 |
50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm（可根据工艺要求提供多种量程选择） |
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工作温度 |
5～45℃ |
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外型尺寸 |
600(L)x600(W)x700(H)mm |
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电压 |
AC220V/50Hz单相 |
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功率 |
23W |
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真空系统 LVU-10 |
壳体尺寸 |
·600(L)x600(W)x700(H)mm |
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最大承载量 |
·1000Lbs |
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抽气速率 |
·10m³/h ·极限︻真空度：10-1Pa ·双层立式油污过滤器(PE材质）与真空泵连接 |
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质保期 |
一∮年质保期，(相√关耗材除外，如炉管，密封圈加热元件等易耗件) |
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使用注意事项 |
·炉管内气压不可高于0.02MPa · ·当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于▲真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ·石英管的长时间使用温度＜1100℃ ·对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭「气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管〓破裂，法兰飞出等） |
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