一、真空炉√简介 我公司生产的真空炉结构为卧式，石英管腔体保证腔体清洁，前端可通入多种气体，后端■由真空泵获得真空，并通过调节阀门来调节腔体内真空度。 ◆用工业微机对工艺时间、温度、气体流量、阀门动作、反应室压力实现自动控制。 ◆采用进口压力控制系统，闭环控制，稳定性高。 ◆采用进口耐腐蚀不锈钢管件、阀门，确保气路气密性。 ◆具有完善的报◆警功能及安全互锁装置。 ◆具有良好的人机界面，灵活的工艺性能。 二、主要技＠术参数 ◆结构： 单管卧式、双管 ◆工作温度： 300～1200℃ ◆真空度： 2Pa、10（-5）Pa ◆真空室直径：Φ90～400mm ◆恒々温区长度：400～1000 mm ◆控制精度： ±1.0℃ ◆加热功率： 5～55KVA ◆控制系统： 进口仪表＋PLC＋触摸屏 ◆安全连锁保护：超温、断偶、缺水、压力异常保护报警 我公司生产的真空炉广泛用于玻璃♀基片在H2S气氛里硫化等各种工艺。该产品：自动控制，稳定性高，安全，气密性好，已经被广泛应用于工业≡领域的各行各业。
