热式气体质量流量控制器型号；DP-S48 32/HMT
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编号 |
项目 |
S48 32/HMT |
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1 |
流量规格 |
(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (1,2,3,5,10,20,30)L/min |
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2 |
调节阀类型 |
电磁调』节阀 |
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3 |
调节阀静止状态 |
常闭 |
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4 |
安装方向 |
任意 |
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5 |
流量控制范围 |
2%- |
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6 |
流量测量∞范围 |
(0-100)% |
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7 |
零点温漂 |
0.6%F.S.(15~35℃) |
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8 |
响应时间 |
2s(T98,设定值的±2%F.S.) |
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9 |
工作环境温度 |
5~50℃ |
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10 |
精度保证温度 |
15~35℃ |
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11 |
精度 |
±1.0%F.S |
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12 |
线性 |
±0.5%F.S |
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13 |
重复精度 |
±0.2%F.S |
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14 |
工作压差范围 |
~5L/min:(0.05-0.3)MPa 10L/min~30L/min:(0.1-0.3)MPa |
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15 |
耐压 |
3MPa |
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16 |
漏率 |
1×10-8Pa.m3/s(He) |
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17 |
管路接头 |
1/4″Swagelok,Φ6mm-Φ10mm |
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18 |
供电电源 |
±15VDC(±5%)＋15V,100mA;－15V,200mA |
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19 |
设定信号 |
(0-5)VDC 输入阻抗>1MΩ |
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20 |
流量输出信号 |
(0-5)VDC 负载输出╲电流能力≤3mA |
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21 |
电气接头 |
D-SUB15 |
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22 |
尺寸(mm) |
113（宽）×121（高）×32（厚） |
