>R1000型配备单激光源,是测量平滑表面和振动的理想工具。
>R2100型配备双激光源,在测量复杂表面和非连续结构时更有优势。
>R2200型扩展了第三个激光源,增加测量】范围的同时,也增添了针对半透明薄膜结构的测量能力。
lyncee数字全息显微镜DHM® 的纵向精度是由激光的本征波长来校准的,因此提供了激光干涉级别的高精度和高可重复性的量测数据。纵向分辨率达到了亚纳米,横向分辨率则由所选物镜决定。
产品特色:
超高速记录动态三维形貌
MEMS测振分析,最高可达25 MHz |
多种可控环境下测量
测量ω透明样品三维形貌 |
性能 |
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测量模式 |
单激光波长 666 nm |
双激光合成波长 4.2 μm |
双激光合成波长 24 μm |
可用该∴测量模式的DHM型号 |
R1000, R2100, R2200 |
R2100, R2200 |
R2200 |
测量精度1 [nm] |
0.15 |
0.15 / 3.0 * |
20 |
纵向分辨率2 [nm] |
0.30 |
0.30 / 6.0 * |
40 |
测量可重复性3 [nm] |
0.01 |
0.01 / 0.1 * |
0.5 |
动态可测纵向范围 |
最大 200 μm |
最大 200 μm |
最大 200 μm |
最大可卐测台阶高度 |
最大 333 nm4 |
最大 2.1 μm4 |
最大 12 μm4 |
适用样品表面类型 |
平滑表面 |
复杂或非』连续结构表面 |
复杂或非连续结构表面 |
垂直校准 |
由干涉滤光片决定∑ ,范围 ±0.1 nm |
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图像采集时间 |
标准 500 μs (最快可选10 μs) |
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图像▓采集速率 |
标准 30 帧/秒 (1024 x 1024 像素) (最快可选 1000 帧/秒) |
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实时重建☆速率 |
标准 25 帧/秒 (1024 x 1024 像素) (最快可选 100 帧/秒) |
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横向分辨率 |
由所选物镜决定,最大 300 nm** |
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视场 |
由所选物镜决定,范围从 66 μm x 66 μm 至 5 mm x 5 mm ** |
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工作距 |
由所选物镜决定,范围从 0.3 至 18 mm** |
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数码聚焦〖范围 |
最高50倍于景深 (由所选物镜决定) |
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最小可测样品反射㊣率 |
低于 1% |
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样品照明 |
最低 1 μW/cm2 |
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频闪模块 |
适用于单光源和双光源模式 |