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在集成电路特别是MOS电路的和开发研制中，MOS电容的C-V测试是极为重要的工艺过程监控测试手段，通过C-V测试达到优化过程中的工艺参数，提高IC成品率。 |
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| CV-5000型电容电压特性测试仪是测试频率为1MHz的化数字的电容测试仪器，既可用于测试半导体器件PN结的势▃垒电容在不同偏压下的电容量，也可进行Mos电容的外加电压扫描测试，还可测试其它MIS电容。 | ||||||||||||||||||||
| 该电容Ψ电压特性测试系统由主机和上位机（PC）组成，并在软件控制下完成校准及测试等功能，同时显示C-V电容电压特性曲线。主机面板上的发光二极管指示仪器的工作状态，用数码管组成的显示板，将被测元件的数值，小数点清晰地显示出来。仪器有较高的分辨率，电容量是◣五位读数，可分辫到0.001pF，偏置电︽压分辨力为0.1V，漏电流分辨力为0.01uA。 | ||||||||||||||||||||
| 仪器配有CV-5000型测量座，接插元件灵活，方便可靠。 | ||||||||||||||||||||
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CV-5000型电容电压特ω性测试仪软件测试系统是一∩个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序，程序操作直观易用。测试程序在计算机与CV-5000型电容电压特性测试测试仪连接的状态下，通过计算机的USB口实现通讯◆。 测试程序控制电容电压特性测试测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算↑机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在计算机中保存或者打印」以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析。 |
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| 技 术 指 标： | ||||||||||||||||||||
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