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高380mm
下平台直径388mm，上平台直径250mm。
负载 25kg
移动←分辨率 1μm
旋转分辨率 5urad
移︻动重复精度 3-4 um
旋转重复精度 20urad
X方向移动量 ±20mm
Y方向移动量 ±20mm
Z方向移动量 ±20mm
绕X轴转动量 ±8°
绕Y轴转动量 ±8°
绕Z轴转动量 ±12°
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