四探针电阻率测试仪-红宝石探针头 B(间距:1.0mm) 型号:GDSKDT-1 | 货号:ZH426 |
产品简介 一、特点 1、 使用几何尺寸的红宝石轴套,确保探针间距的恒定、准确。 2、 控制宝石内孔与ω 探针之间的缝隙不大于6μm,探针的小游移率。 3、 采用特制的S型悬臂式弹簧,使每根探针都具有立、准确的压力。 4、 量具精度的硬质合金探针,在宝石导孔内稳定运动,持久耐磨。 二、用途 1、 测量硅、锗单晶(棒料、晶片)电阻率,测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻。 2、 测量导◎电玻璃(ITO)和☆其它导电薄膜的方块电阻。 三、探针间距 1、 直线四探针…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm 2、 方形四探针…………… 1.00mm 3、 直线三探针…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm 4、 两探针 …………… 1.00mm、1.59mm、4.76mm、10.00mm 四、指标 1、 游移率 B…………… <0.5% A……………<0.3% AA………… <0.2% AAA…………<0.1% 2、 间距偏差 B…………… <3% A…………… <2% AA………… <2% AAA………… <1% 3、 针与导孔间隙:0.006mm 4、 探针材料:硬质合金(主成份:进口碳化钨)或高速钢 5、 探针压力 标准压力:6—10N(4根针总压◣力) 小压力:1.2—5N(4根针总压力) 1牛顿(N)=101.97克 6、 针尖压痕直径:25—100μm、100—250μm(簿层) 7、 500V缘电阻:>1000MΩ | |