| 多功能真空实验仪（设计性、综合性实验） 型号：YQDH2010 | 货号：ZH5500 |
| 产品简介 实验仪是一个真空实验平台，能够很直观反映真空获得的过程。由真空获得部分、真空镀膜机构和电控及仪表等部分组成，结构合理，运行，适合于对学生开展真空实验教学。在2008年第五届高等学校物理实验教学研讨会物理仪器评比中荣获三等奖。 可开设的实验 1、真空的获得与测量； 2、蒸发法薄膜制备 主要特点 1、设备的真空反应室、油扩散泵、真空管路部件透明； 2、电气控①制有防护，防止误操作对♀操作人员和设备造成的损伤； 3、管路采用不锈钢、真空橡胶管结合，阀门为电控双向截止阀；真空室内有烘烤除气装置； 4、一机多用的功能，针对高校开展综合性、设☉计性和开放性实验的要求,预留有大空间的真空室，在配置一些组件后，就能◆方便开设其他扩展实验项目。 主要参数 1、Ф230×255mm玻璃︼真空室； 2、采用机械泵、四玻璃质油扩散泵两真空系统，扩散泵油量125~140ml，需水冷； 3、真空度：开机60分钟后可达5×10-3Pa，限真空度：9.6×10-4Pa；恢复真空时间＜40分钟； 4、采用一对无氧铜电蒸发电，电间距70mm，可选用钨丝或钼舟作蒸发源∴，蒸发电流调节范围》：0～150A 5、衬底可加热，衬底加热温度范围：室温～200℃； 6、工作电压：AC220V±5%，50Hz；整机功率：3kW； 7、工作环境要求：温度低于30℃，湿度≤70％；水循环用户自备。 |  |
