OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的双炉▅体滑动管式炉，炉管为Φ50×1400mm的石英管，并配有不锈钢密封法兰，仪器最高温度可以达到1200℃。两个炉体可在滑轨上滑动，实现对原材料的蒸发/升华，及薄膜沉积。通过炉体的滑动可实现对样品快速加热，最大升温速率为100℃/min.同时可选择电动滑轨、质』量流量计（MFC）控制的供气系统和等离子射频电源来搭建TCVD系统。
| 技术参数 | |||
|---|---|---|---|
| 炉体结构 |
● 两个炉体在一个滑动轨道上，炉体最高工作温度1200℃ ● 每个●炉体加热区为200mm,恒温区为60mm ● 一个滑动轨道安装在两炉体底部，可手动推动炉体滑动 ● 仪器中配有不锈钢密封法兰  |
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| 总功率 | 2.5KW | ||
| 电压 | AC 208-240V 单相, 50/60 Hz, （需要20A的空气开关） | ||
| 最高工作温度 | 1200℃ | ||
| 连续工◎作温度 | 1100 °C | ||
| 加热&冷却速率 |
加热速率: 15°C/sec (RT - 150°C); 10°C/sec (150°C - 250°C); 7°C/sec (250°C - 350°C); 4°C/sec (350°C - 500°C); 3°C/sec (350°C - 550°C); 2°C/sec (550°C - 650°C); 1°C/sec (650°C - 800°C); 0.5°C/sec (800°C - 1000°C); |
冷却速率: 15°C/sec (1000 - 950°C); 10°C/sec (950°C - 900°C); 7°C/sec (900°C - 850°C); 4°C/sec (850°C - 750°C); 2°C/sec (750°C - 600°C); 1.5°C/sec (600°C - 500°C); 1°C/sec (500°C - 400°C); 0.5°C/sec (400°C - 300°C); |
注意: 最大加热和冷却速率是通过炉体滑动来实ξ 现的，将炉体加热到目标︽温度，然后滑动炉体到样品位置来实现快速加热。对样品加热后，滑动炉体，使样品暴露在加热区外，来实现快速冷却 |
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| 加热区长度 |
每个炉体的加热区为200mm  |
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| 恒温区 | 60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C)注：由于测量手段∏及外部环境的影响，测量＠结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人ξ 员联系 | ||
| 加热元件 | 掺钼铁铬铝合金 | ||
| 炉管 |
● 高纯石英管 ● 尺寸：50mm O.D x 44mm I.D x1400 mmL |
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| 温】度控制系统 |
● 两个炉体都采用PID方式来调节温度，可设置30段升降温程序◥ ● 设置有超温∩和断热偶报警 ● 包括2个K型热电偶（已安装◣在炉体上） ● 可选:可选择控制模块MTS-02，可使用电脑来控制炉体的升降温 （点击图片查看详细资料）  |
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| 真空法兰 |
● 仪器中包含一对不锈钢密封法兰，法兰上安装有机械压力表 ● 可选购KF25接口↘的法兰◤（提高抽气速率)，防腐型真◥空计  |
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| 滑轨长度 | 1200mm | ||
| 真空度 |
● 10E-2 torr（采用机械泵） ● 如您想获得更高的真空度(<10-5 torr or better) 可选国产或进口高真空机组 ● 可在本公司选购真空泵 |
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| 可选 |
● 可选择电动滑轨，更好的控制快速升降温速率◣ ● 1-9通道质量流▅量计（MFC）控制的供气系统 ● 100W-500W的射频等离子源 ● 这些模块与管式炉配合可搭建起等离子增强的TCVD系统   |
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| 尺寸 | 1500 x 380 x 620 mm（炉体＋滑轨） | ||
| 净重 | 约80kg | ||
| 质保期 | 一年质保期，终身维护（不包╱括炉管、密封圈和加卐热元件） | ||
| 质量认证 |
● 认证 ●所有》电器元件（>24V）都通过 UL / MET / CSA 认证 ●若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证  |
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| 使用注意事项： |
●炉管内气压不可高于0.02MPa ●由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通〇入气体时，气瓶上必须安↑装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 ●进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ●当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的●气压需和大气压相当，保持在常♂压状态∏ |
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