OTF-1200X-4-RTP-HV是一款精巧型快速热处理管式炉(4" 石英管), 配有高真空系统(机械泵 +分子泵) ,带KF-D25 真空法兰.它是专为半导体或太阳能电池基片(最大达3“)的退火而设№计,采用10KW红外灯管加热,最快升温速度为 120°C/second. 30 段温度控制,精度为 +/-1°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。
技术参数
炉子 |
结构 |
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加热元件 | 8根〖红外灯管(D=10 L=300 T =200, mm) | |||||||
工作温度 |
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最快升温速度 | 室温~800℃: 50 oC/sec ,800℃~1000℃ 10oC/sec | |||||||
最快『降温速度 | 64°C/min (在真空: 200 mtorr下), 117°C/min (在一个大气压下) | |||||||
加热区 | 4" X12"恒温区( +/-5°C ) | |||||||
温控仪 |
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石英管和样品架 |
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真空法兰 |
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流量计 | 装在ξ前面板上一路流量计调整范围 16 - 160 ml/min | |||||||
电源 | 208-240 AC, 50/60 Hz 单相, 最大10 KW Max. (> 60A 保险) | |||||||
高真空系统 |
结构 |
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真空度 | 6.3E-5 mbar ( 4" RTP 管式炉在 40 minutes内) | |||||||
控制面板 |
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启动时间 | 2 minutes | |||||||
前级泵在10mbar下的流速 | 3.8 L/min 50Hz , 4.4 L/min 60Hz | |||||||
电源 | 110V AC 和220V AC 任意切换, 50/60Hz | |||||||
功率 | 最大: 110Watt | |||||||
包装 | 重量和尺寸 |
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保修期和认证 |
电气部分一年保修期. (耗材:如石英管,"O"圈和加热灯♀管等不在保修范围内) CE 认证 |
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国家专利 |
专利名称:一种快速高温退火炉 专利编号:ZL-2011-2-0077168.4 尊重创新,鄙视抄袭,侵权必究 |