产品型号 |
GSL-1100X-SPC12 |
产品简介 |
GSL-1100X-SPC12是一款紧凑型等离子薄膜溅射仪,专门设计为基地镀上金属膜,如金,铂,铟和银等。最大可放置样品尺寸直径为40mm,膜厚可达300埃,特别适用于为SEM样品镀上金而作为导电极。 |
输入电源 |
l 208V - 240V, 50/60 Hz l 可以调节电流大小,可设置∩溅射时间 |
等离子腔体 |
石英腔体尺寸: 100 mm Dia. x 130mm H |
载样台 |
l 载样台的尺寸为60 Diam,, l 样品台高度可以调节 |
进气口 |
一个阀安装在仪器内部,可以往腔体中通入各种气体 |
靶材尺寸 |
仪器中包括一纯度为4N的金靶:57 mm dia. x 0.12 mm 可选靶材: Au target (57mm dia.x0.12mm, 4N) Pt target (57mm dia.x0.12mm, 4N) Ag target (57mm dia.x0.5mm, 4N) |
外型尺寸 |
L480mmx W320mm x H150mm |
净重 |
20 kg |
质量认证 |
CE认证 |
质保期 |
一年质保期,终身维护 |