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产品型号 |
GSL-1100X-SPC12H |
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产品简介 |
GSL-1100X-SPC12H是一款紧凑型加热等离子薄膜溅射仪，专门设计为基地镀上金属膜，如金，铂，铟和银等。最大可放置样品尺寸直径为40mm，膜厚可达300埃，特别适用于为SEM样品镀上金而作为导电极。此款等离子薄膜溅射仪上自带了所必要的配件，可立即使用，包含一个溅射靶材，真空泵，不锈钢波纹管和快速卸装卡箍。 |
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输入电源 |
208V - 240V, 50/60 Hz, < 3000W |
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样品室 |
l 石英腔体尺寸, 100 mm Dia. x 130mm H l 带有不锈钢法兰 |
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输出电压 |
l 1600VDC l 最大电流：50mA |
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衬底加热器 |
l 载样台的尺寸为60 mm,可加热到600度 l 一个30段可编程温度控制器，控温精度±1oC l 推荐升温速率:15°C/m l 样品台的高度可以调节 |
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真空配置 |
l 每个配件包含在内，可立即使用 l 仪器中配有一台2L/S双旋片机械泵，该机械泵进气口安装有储气球，防止泵油的回流，出气口安装有立式油污过滤器，过滤真空泵工作时产生的油烟，和减少泵油的损耗，保护环境和人体健康。 l 高纯度金箔靶 |
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进气口 |
有一不锈钢针阀安装在仪器上，可以通入氩气，能实现更好的等离子涂层 |
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靶材 |
l 标配靶材：4N purity Gold foil: 57 mm dia. x 0.12 mm l 可选靶材：请点击查看 Au, Ag or Pt tagets. |
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外形尺寸 |
L480mmx W320mm x H150mm |
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运输重量 |
160Lbs with crating |
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质量认证 |
CE认证 |
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质保期 |
一年质保期，终身维护 |
