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产品型号 |
GSL-1100X-16C |
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产品简介 |
GSL-1100X-SPC-16是一款能够实现两种功能的镀膜设备，即等离子溅射镀膜和蒸碳镀膜。特别适合于制作SEM和EDAX样片，是一款可以以低廉的价格买到的适用的设备。 |
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输入电源 |
220V 50/60 Hz |
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输入功率 |
< 2000W (包括真空泵) |
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输出 |
l 等离子溅射镀膜:1600VDC，最大电流为50mA l 蒸碳镀膜:10VAC，最大电流10A |
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反应腔体 |
石英管;60 mm Dia. x 110mmH |
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样品台 |
l 一←个直径为50mm的圆形样品台 l 最大镀膜区域直径为：45mm空配置 l 仪器中包含有一直联式双旋机械泵，可使反应腔体真空度达到10-2 torr l 用一个KF25的波纹管把真空泵和仪器相连接 l 为了得到更好的真空度可以选购分子泵，可使腔体内的真空度达到10-5 torr |
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进气口 |
有一不锈钢针阀安装在仪器上，可以通入各种气体，可以产生不同元素的等ω离子体，以满足不同的实验需要 |
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靶材/ 碳源 |
l 仪器中包含一50 mm dia. x 0.12 mm的金靶 l 10片碳纤维作为碳蒸发源 |
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仪器外型尺寸 |
L360mm x W300mm x H380mm |
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净重 |
50 kg |
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质量认证 |
CE认证 |
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质保期 |
一年质保期，终身维护 |
