产品型号 |
GSL-1100X-SPC-16 |
产品简介 |
GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子溅射仪,可进行金、铂、铟、银等多种金属的溅射镀膜,样品直径可达50mm,镀膜厚度可达300?,特别适用于SEM样品的镀膜。 |
产品特点 |
l 设有真空表、溅射电流表,可实时监控工作状态。 l 通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀,控制真空室压强、电离电流及选 择所需要的电离气体,以获得 最佳镀膜效果。 l 钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计,可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现 象。 l 陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。 l 根据电场中♀气体电离特性,采用大容量溅射真空室和@ 相应面积溅射靶,使溅 射镀层更均匀纯净。 l 已通过CE认证。 |
技术参数 |
l 电源:220V l 总功率:<2000W(包括真空泵) l 真空室:Φ160mm×120mm l 样品台:Φ50mm,且高度可调,可同时进行8个SEM样品的镀膜 l 最大均匀镀膜:Φ45mm |
规格尺寸 |
l 尺寸:400mm×300mm×400mm; l 重量:30kg |
标准配件 |
l 金靶材:1个 l 进气针阀:1个 l 保险丝:2个 |
可选配件 |
金、铟、银、白金等各种靶材 |
质量认证 |
CE Certified |
操作视频 |
整理中··· |
质保期 |
一年质保期,终身维护 |