产品型号

GSL-1100X-SPC-16-3

产品简介

GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪是依据二极（DC）直流溅射原理设计而成的最简单、可靠、经济的镀膜设备。本机特别之处是在一个真空室内安装了三个靶，旋转样品台可依次在同一样品上涂覆三种材料。因此，适用于实验室各种复合膜样品的制备，以及非导体材料实验电极的制作。

产品特点

l  设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态。

l  通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀，控制真空室压强、电离电流及选择所

   需要的电离气体，以获得　 最◣佳镀膜效果。

l  钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计，可保证长期使用不出现玻╳璃钟罩崩边现象。

l  陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。

l  根据电场中气体电离ξ特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀

    层更均匀纯净。

l  已通过CE认证。

技术参数

l  靶：Φ45mm

l  真空室：Φ160mm×120mm

l  最高真空度：≤4×10-2mbar

l  靶位：3个

l  最大电流：50mA

l  可设定◎最长时间：900s

l  微型真空气阀：连接Φ3mm软管

l  最高电压：1600V  DC

l  机械泵：2L/s

规格尺寸

尺寸：360mm×300mm×380mm

标准配件

l  金靶材：1个

l  银靶材：1个

l  铝靶材：1个

l  进气针阀：1个

l  保险丝：2个

可选配件

金、铟、银、白金等各种╳靶材

质量认证

CE Certified

操作视频

整理中···

质保期

一年质保期，终身维护