产品型号 |
HVMSS-SPC-2-LD |
产品简介 |
HVMSS-SPC-2是一款可安装直径为2英寸靶材的磁控溅射头,可适用的靶材种类较广,如金属/绝缘靶材或磁性/非磁性靶材。环形NdFeB永磁体安装在溅射头上,以保证溅射镀膜的效率和均匀性。此款溅射头可与DC或RF电源配合使用。 |
特征
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l 采用高质量的不锈钢和陶瓷材料制作 l 采用电磁场的有元计算法来设计永磁体,以得到较高的磁场强度和均强场分布 l 磁体表面涂有一层保护层,以防止冷却水的腐蚀,延长其使用∩寿命 l 标准的HN型接头,可与DC和RF电源相匹配 l 安装是采用标准真空接头,便于操作 l 更换靶材较为简单,无需调整溅射头的高度 |
所需功率 |
l DC(最大)1000W l RF(最大)500W |
最大溅射电流 |
3A |
溅射电压 |
100-1000 V |
溅射时腔体真空度 |
5-100 mTorr |
溅射均匀性曲线图 |
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尺寸 |
l 阳极护套直径:3.5英寸 l 总长度:14英寸 |
靶材 |
l 直径: 2.0英寸(50.8mm)
l 厚度: 对于非磁性靶材,最大厚度为1/4英寸 l 靶材利用率:30% l 磁铁:NdFeB 稀土磁铁 |
需要冷却水 |
l 流速: 0.8 GPM l 进水温度:<20 ℃ l 水管:0.25" OD. |
可选配件 |
l 当同时购←买300W射频发射器和2英寸磁控溅射头时,本公司会赠送一高真空快速接头 l 此快速接头的内径为0.75英寸,可将溅射头安装在真空腔体上,真空腔体①上的安装孔直径为1英寸,真空腔体的壁厚不得大于1英寸 l 循环水冷◥机,流量为16L / min ,水箱容积为6L |
外形尺寸 |
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质保 |
一年质保期,终生维护 |