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产品型号 |
OTF-1200X-RTP-II |
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产品简介 |
OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸发管式炉，专门针对于用PVD或CSS法来制作薄膜。此款管式炉炉管直径为11" OD，炉管内载样盘可放置3" 的圆形或2"x2"的方形基片。加热元件为两组红外灯管，分别安装在腔体的顶端和底部，其升温速率高达20oC/S 。温控系统为PID30段程序化控制，控温精度为±1oC。仪器面板上带有RS485接口，若仪表内配有控温软件，就可将升温程序和曲线导出。对于探索新一代的薄膜太阳能电池，如CdTe、硫化物和钙钛矿结构太阳】能电池,这是一款理想的实验工具。 |
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技术参数 |
真空腔体 |
l 腔体为一高纯石英管 l 尺寸： 11" OD x 10.8"ID x 9" H |
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真空法兰 |
l 真空法兰材质为316不锈钢制作 l 顶部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头◎的出气口 l 底部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的进气口 l 法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封，通过机械泵其腔体内真空度可达10-2 torr，用分子泵其真空度可达到10-5 torr l 两个法兰都可以通过手动操作进行上下移动 l 一个数字式真空显示计安装在法兰顶部，可精确测量腔体内真空度
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混气系统 |
可以选择两路的混气系统于此款管式炉搭配使用（本公司生产多路浮子和多路质子混气系统） |
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加热元件 和载样台 |
l 由两组IR红外灯管进行加热 l 额定功率800 W 总功率：1600W l 为了减小热辐射和达到快速冷却的效果，加热元件被嵌在水冷机构上 l 一个3"的基片载样台安装腔体顶部 l 紧贴顶部加热元件上安装有一氮化铝基片（3"Dia x0.5mm Thick），使其仪器使用时样品基片上的温度更加均匀 l 3"的石墨坩埚可以放在底部加热元件上来盛装蒸发料 |
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热电偶 |
两个K型热电偶分别安装在上下法兰上 |
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温控系统 |
l 两个控温系统都为PID30段程序化控温 l 可以选购PC控温软件，将温度程序设置和温度曲线导入电脑中 |
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工作温度 |
l 两个加热区域单独工作▆的最高温度： <= 650oC l 两个加热区域最大温差: <= 350 oC |
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加热和 冷却速率 |
l 加热速率: > 8 oC /S l 冷却速率: > 10 oC /S ( 600 - 100oC) |
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电源 |
208 - 240VAC, 单相, （需20A的空气开关） |
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操作视频 |
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质量认证 |
CE Certified |
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质保期 |
一年质保期，终身维护 |
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相关文献 |
Best_Research-Cell_Efficiencies |
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