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                OTF-1200X-RTP-II-5 5英寸近距离△蒸发镀膜炉

                OTF-1200X-RTP-II-5 5英寸近距离蒸发镀膜炉
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                • OTF-1200X-RTP-II-5 5英寸近距离蒸发镀膜炉
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                OTF-1200X-RTP-II-5
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                详细说明

                产品型号

                OTF-1200X-RTP-II-5

                产品简介

                OTF-1200X-RTP-II-5是一款快速热处理炉,其炉腔体是一直径为11英寸的石英管。此款设备专门实际针对于热蒸发或CSS(Close Spaced Sublimation)镀膜实验,其镀膜面积可达到5"x5"。此款高温炉的加热元件是两组红外灯管(分别位于顶部和底部),最大升温速率为20oC/s 。采用PID方式进行温度调节,可设置30段升降↘温程序。仪器面板上安装有RS485接口,可配用控制软件将升温程序和温度曲线都导入到电脑中。对于探索新一代的薄膜太阳能电池,如CdTe、硫化物和钙钛矿结构太阳能电池,这是一款理想的实验工具.

                炉体结构和真空腔体

                l  采用两个温度控制器,分别控制顶部和底部两组加热元件。安装有浮子流∩量计,可向真空腔体@ 中通入气体

                l  真空腔体为一高纯的石英管,其尺寸为:11"OD/10.8"IDx9"Hmm

                真空法兰

                l  真空法兰为316不锈钢制作

                l  顶部法兰上有一KF25接口,可以与真♀空泵相连接,另外安装有两个1/4"软管接头的出气口

                l  底部法兰上有一KF25接口,可以与真空泵相连接,另外安装有两个1/4"软管接头的进气口

                l  法兰是通过两⊙个硅胶O型圈进行密封,通过机械泵其腔体内真空度可达10-2torr,用分子泵其真空度可达到10-5torr

                加热元件和载样台

                l  由□两组红外灯管作为加热元件,分别位于顶部和底部

                l  两个加热台之间的距离可以通过直流电机调节,调节范围为:2-50mm

                l  为了︻减少热量辐射和达到较快的冷却速率,加热元件安装在带有水◥冷夹层的不锈钢壳体中,(不锈钢①壳体采用316不锈钢制作)

                l  采用导热率较高的氮化铝陶瓷片(5"×5"×0.5mm厚度)作为载样台,以达到较好的加热均匀性

                l  底部载样台上可放入〇5"x5"的石墨坩埚来盛放蒸发原料

                l  此款仪器使用时需要配用一循环水冷机(16L/m)

                温控系统

                两个精密的温控系统分别独立控制上下两个加热区,可设置30段升降温程序

                每个温控系统都带有超温和断偶保护

                PC通讯接口,软件可安装,可将控温程序和温度曲线导入到电脑中

                工作温度

                l  最高工作温度为:800℃

                l  两个加热区之间的最大温差为300℃

                加热和冷却速率

                l  加热速率>8oC/s(每个温区单々独加热)

                l  冷却速率>10oC/s (600-100oC)

                热电偶

                两个K型热电偶,安装在顶部和▃底部,都与氮化铝陶瓷片相接触

                工作电压

                208-240VAC,单相,(需要20A的空气开关)

                功率

                3000W

                可选

                l  实验时需要一个真空泵∴,可与本公司选购真空泵

                l  腔体内的Ψ 真空度达到<=10E-2torr

                l  若要使真空腔体内达到更洁净的工作环境,可换购无油泵

                l  也可选购质子流量计混气系统,将实验所需气体安比列混好后导入到真空腔体中

                质保

                一年质保期,终生维护(不包括密封圈、加热元件和石英管)

                OTF-1200X-RTP-II-5 5英寸近距离蒸发镀膜炉
                OTF-1200X-RTP-II-5 5英寸近距离蒸发镀膜炉
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