产品型号

GSL-1800X-ZF4

产品简介

GSL-1800X-ZF4是一款高真空的蒸发镀膜仪，特别适合蒸镀一些对氧较敏感的金属膜，如Ti, Al 和Au等，也可蒸镀各▽种氧化物材料。此款蒸镀仪安装有4个蒸镀加热头，可同时蒸发两种不同种材料。对于实验研究，这是一款镀膜效果理想并且性价比较高的实验设备。

电压

l  输入：208 - 240VAC, 20 A, 50/60 Hz, 单相  ( < 3200W )

l  输出： 0 - 8VAC （可调）最大电流： 400A 

l  最大功率：4000W（包括真空泵）

真空腔体

l  不锈钢腔体：280mm ID. x 375 mm H，腔体←内壁做了电抛光处理

l  有两个40mm的观察窗口（采用无氧铜密封圈密封）

l  一个RF-150法兰，便∑于放入样品。

l  一个CF150法兰，可与真空泵相连接

l  一个CF-16法兰

l  七个CF-36法兰，便于安装真空计、电极和其他用途备用

真空泵

l  仪器中包括一台高抽速的涡轮分子泵

l  抽速：600L/S

l  真空度：5.0x10-6 torr（泵开启后40分钟）

l  极限真空度：5.0x10-7  torr（烘烤温度为100-150℃）

l  漏气率：5.0x10-7Pa./S

蒸发加热源样品台

l  5个水冷电极安装在腔体底部，可支持4个钨卐加热舟

l  每个钨舟上面安装有可移动的挡板，所以实验时可以实现多源共蒸发，也可实现顺序蒸发

l  样品台安装在真空腔体顶部，直径为260mm

l  蒸发源与样品台的距离为300mm

测厚仪

l  一个高分辨度的薄膜测厚仪安装在腔体内部

l  测量精度为：1.0?

循环水冷机

l  仪器使用过程中需要通冷却水，为了节约用水，强烈建议使用循环水冷机

l  所需水流↑量>15L/min

控制单元

l  真空、厚度和输入电源控制全部集合在一个控制盒内

l  控制单元和真空腔体独立分开，以便于操作

外形尺寸

L600mm× W860mm× H1500mm

净重

600kg

质保

一年质保期，终生维护

质量认证

CE认证