OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通过CE认证的单温区管◣式炉CVD系统,其管径为80mm,采用机械泵,供气系统为三路浮子供气系统,其真空度可达到 10-2 torr。
产品型号: |
l 1200℃带3通道混气真空管式炉-OTF-1200X-80-I-F3LV |
高温炉壳体: |
l 采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于55℃ l 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命 |
功率: |
2.5 KW |
电压: |
AC 208-240V 单相, 50/60 Hz |
加热元件: |
l 掺钼铁鉻铝,表面涂有氧化锆涂层,可以最大程度的延长仪器的使用寿命 |
最高工作温度: |
1200℃ |
连续工卐作温度: |
1100℃ |
最快升温速率: |
<= 20 ℃ |
炉管材质和↑尺寸: |
石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm |
加热区长度: |
400 mm |
恒温区长度: |
150 (+/-1 ℃) |
控温系统: |
PID30段程序化控温 控温仪表操作ζ视频 |
控温精度: |
+/- 1oC |
真空密封系统:
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l 两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀),最大漏气率6 mtorr/min
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真空泵:
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采用双旋机械泵 |
数字式真空显示计:
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美国进口CVM-211,已安装在不锈钢法兰上,测量★范围为10-4Torr~1000Torr |
混气系统:
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l 三个浮子流⊙量计(准确率4%FS) l 三路浮子量程分别为
10-100 cc/min. l 内部安装有一混气罐 |
尺寸: |
炉体尺寸: 550 x 380 x 520 mm, 混气系统尺寸: 600x600x597 mm |
净重: |
约60kg |
运输重量: |
200 |
质保期: |
一年质保期(不包括炉管 、加热元件和密封圈的损耗件) CE Certificate |