老快三

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                1200℃单温区三通道∮混气CVD系统-OTF-1200X-80-I-F3LV

                1200℃单温区三通道混〇气CVD系统-OTF-1200X-80-I-F3LV
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                • 1200℃单温区三通█道混气◥CVD系统-OTF-1200X-80-I-F3LV
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                OTF-1200X-80-I-F3LV
                高教
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                详细说明

                OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通过CE认证的单温√区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用机械泵,供气系统为三路浮子供气系统,其真空度可达到 10-2 torr.
                技术参数

                高温炉壳体

                • 采用双层壳体结构,并带♂有风冷系统,使得壳体表面温度小于55℃
                • 内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反︻射率及炉膛洁净度

                功率

                2.5 KW

                电压

                AC 208-240V 单相, 50/60 Hz 

                加热元件

                掺◣钼铁鉻铝合金(表面涂有氧化锆涂层,使其最大程度延长使用寿命)

                最高工作温度

                1200℃

                连续工作温度

                1100℃

                最快升温速率

                <= 20 ℃

                炉管材质和尺寸

                石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm 

                加热区∮长度

                400 mm

                恒温区长度

                150  (+/-1 ℃)

                控温系统

                PID30段程序化控温   控温仪表操作视频

                控温精度

                +/- 1 ℃

                 

                真空密封系统

                 

                 1200℃单温区三通道卐混气CVD系统-OTF-1200X-80-I-F3LV

                 

                (点击图片查看详细资料)

                两个不锈钢密封法兰(上面已安装◎真空计和截止阀),最大漏气率6 mtorr/min

                1200℃单温♀区三通道混气CVD系统-OTF-1200X-80-I-F3LV

                真空泵

                1200℃单温区三●通道混气CVD系统-OTF-1200X-80-I-F3LV

                采用双≡旋机械泵,机械泵上安装有油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境〓和人体健康,过滤的最小微粒直径为0.3微米。

                数字式真空显示计

                     1200℃单温区三通道混气CVD系统-OTF-1200X-80-I-F3LV

                • 美国进口CVM-211数╳显真空计,已安装在不锈钢ㄨ法兰上,测量范围为10-4Torr~1000Torr
                • 可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量◥气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍)
                   1200℃单温区三通道混气CVD系统-OTF-1200X-80-I-F3LV

                混气系统

                1200℃单温区三通道混气CVD系统-OTF-1200X-80-I-F3LV

                • 三个浮子流量计(准确率4%FS)
                • 三路浮子量程分别为
                • 10-100 cc/min.
                • 16-160 cc/min.
                • 25-250 cc/min
                • 内部安装有一混气罐 

                 

                 

                尺寸

                • 炉体尺寸: 550 x 380 x 520mm
                • 混气系统尺寸: 600x600x597 mm

                净重

                约60kg

                运输重量

                200

                质保期

                一年质保期▂(不包@括炉管 、加热元件和密封圈的损耗件)

                 1200℃单温区三通道混气CVD系统-OTF-1200X-80-I-F3LVCE Certificate

                1200℃单温区三通道混气CVD系统-OTF-1200X-80-I-F3LV
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