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PECVD-- OTF-1200X-50
详细说明
OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL是一款双温区的PE-CVD管式炉系统，组成部分为500W的射频发生器、滑动速度可控的双温区滑轨炉，预热炉（作用为使固体原料蒸发）和德国进口的无油泵。此款PE-CVD对于生长纳米线▓或用CVD,方法来〇制作各种薄膜是一款新的探索工具。
技术参数
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特点
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与普通CVD相比较，其沉积温度大大降低，减少了高温多薄膜损坏
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可以通过炉体滑动来达到快速升温和快速降温的效果
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炉体有两▼个温区，可在炉体内形成温度梯度，两个温区最大温差为400℃
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管式炉最高▽工作温度为1100℃
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带有预热炉，最高温度为1100℃，气体可通过此炉预热也可将液体蒸发气◎化或固体原料升华后与气体原料混合。
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双温区滑轨炉
(点击图片查看详细资料）
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连续工作最高温度为1100℃
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炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，并且内炉膛表面涂有美国进口的1750度高温氧化铝涂层，可以提高加热效率，反射率及延长仪器的使用寿命¤(点击文字查看□ 详细资料）
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两个温控系统独立控制♀两个温区，都可设置30段升降温程序◥
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每个温区长度为200mm
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总温区长度：400mm
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恒温区：200mm(两个温区设置同样的温度）
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两个温区最大温差为：400℃
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炉管材料：高纯石英管
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石英管尺寸：50mm OD x 44ID x 2200mm L
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所需电源: 208 – 240V AC单相
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最大功率： 4KW
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等离子射频发生器
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输出功率: 5 -500W可调
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稳定性为：+/-1%
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射频电源频率：13.56 MH, 稳定性±0.005%
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最大反向功率: 200W
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射频电源①电子输出口: 50 Ω, N型半导体, 阴极
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噪音:<50 dB.
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冷却方式：空气冷却
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输入电源: 208-240VAC, 50/60Hz
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预热炉
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一款小型单温区ぷ管式炉，加热区为200mm
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最高温度: 1100oC
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可设置30段升降温程序
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控温仪表操作视频
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气体通过等离子射▂频电源前，先通过预热炉
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也可将固体和液体原料ㄨ放在预热炉中，气化后与气体原料相混合
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防腐型数显真空计
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测量范围3.8x10-5 至 1125 Torr
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当气压在10mbar以上时，可独立测量各种气体，不必做校正（包括混合气体）
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对于气体的压√力检测具有较高的精确度和重复性
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信号响应时间较短（≤30ms)
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因为传感器上镀有防腐涂层，所以具有较好的∩抗腐蚀性
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真空泵和阀
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可以从本公司选购以下№三种真空泵
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采用机械泵真空度可以达到10-2Torr，采用分子泵真空度可以达到10-3Torr
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德国无◤油真空泵，抽速为226L/min.采用此干泵可使炉管内真空度达到10-2Torr（此干泵内无油，所以在真空状态下无油雾产生，从而为实验＠ 提供一个洁净低压的环境）
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配有挡板阀、波纹管和卡箍等真空配件
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电动滑轨
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可将电动滑╱轨安装在炉体下端，将炉体滑动，以达到快速升温和快速降温的效果
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滑动速度：0-70 mm/s（可调）
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升温和降温速率
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RS485接口和控温软件可安装在炉体内，将控温程序◆和温度曲线导入电脑中（仪器中不包含，客户需额外出费用在本公司购买』）
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为了获得最大的升温速率，可将炉体升温到设定温№度，然后将炉体滑到样品盛放位置
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加热速率:
15°C/sec (RT - 150°C);
10°C/sec (150°C - 250°C);
7°C/sec (250°C - 350°C);
4°C/sec (350°C - 500°C);
3°C/sec (350°C - 550°C);
2°C/sec (550°C - 650°C);
1°C/sec (650°C - 800°C);
0.5°C/sec (800°C - 1000°C);
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冷却速率:
15°C/sec (1000 - 950°C);
10°C/sec (950°C - 900°C);
7°C/sec (900°C - 850°C);
4°C/sec (850°C - 750°C);
2°C/sec (750°C - 600°C);
1.5°C/sec (600°C - 500°C);
1°C/sec (500°C - 400°C);
0.5°C/sec (400°C - 300°C);
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可选
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可以选购2-4通道质子流量计混气系〗统（精度1.5%）
  
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外形尺寸
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炉体: 550 x 380 x 520 mm
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滑轨长度：1750 mm
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净重
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220 Lbs.
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质保期
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一年质保期︻，终生维护（不包括炉管、密封圈和加热元件）
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质量认证
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 CE Certified
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