VHP-5T-4是一款电动真空平板式真空热压机,针对于晶片的焊接或薄膜转移,其可处理最大样品尺寸为100mm x 100mm。仪器最高工作温度为500℃,在此温度下可对样品实加的最大压力为6T。
产品型号: |
l 500oC 真空热压机--VHP-5T-4 |
结构: |
l 两块150mm x150mm加热平台,采用高温合金钢制成,最高可承受温度为500℃ l 1000W的加热管嵌在加热平台的中间,以达到快速加热的效果 l 两个精密的温控器独立控制两块加热平台,可设置30段升降温程序 l 水冷管设计在加热平台的顶端,以达到快速冷却的效果
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液压泵: |
l 20T的电动液压机与真空腔体相连接 l 两个加热平台之间的可移动距离为15mm l 自动压力控制并带有数显压力显示 l 压力控制精ω度为+/-0.01 Mpa( 0.1 kg/cm2 ) l 两个加热平台最高工作温度为500℃,加热平台顶端安装有冷却水管。当工作温度高于200℃时,请注入冷却水(>15L/min) |
温控系统和压力显示:
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l 两个精密的温控系统可设置30段升降温程序,期控温精度为+/1℃,分别独立控制两个加热平台。 l 温控系统采用PID方式进行温度调节,并带有过热和断偶保护。 l 最高工作温度为500℃。 l 升温速率:< 10℃ l 软件和PC接口安装在控温仪表上,可将温度程序和温度曲线导入到电脑中。 l 数字压力显示器(控制器)安装在真空腔体外,可设置其压力,当压力达到设置值时电机将自动停止。 l 控温仪表操作视频
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真空腔体: |
l 真电动液压装置和加热台都安装在真空腔体内。 l 真空腔体采用304不锈钢制作,并焊接有加强筋(防止真空状态下腔体变形),真空度可以达到10E-3 torr。 l 内部腔体尺寸为:372mm(L) x 420mm(W) x 480mm(H) l 真空腔体前端有一直径为150mm的观察窗口 l 一个高灵敏度的真空计安装在真空腔体上,测量内部的真空度
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电源: |
功率:2500W 电源: 208 - 240VAC, 50/60 Hz 单相 |
外形尺寸: |
600mm(L) x 500mm(W) x 400mm(H) |
质保期: |
一年质保期,终生维护 |