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                TRACER 2型超高精度气体水份测量仪

                TRACER 2型超高精度气体水份测量仪
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                详细说明

                TRACER 2 型超高精度气体水份测量仪

                TRACER采用专利的P2O5水份分析技术,响应速度愉,为超高纯的气体的水份检测提供高精度低成本的解决方案。

                TRACER 的CELL(传感器)是由嵌入一根中空玻璃管的两级电极组成,该两级电╲极上涂布P2O5薄膜。当样品气体以恒定的流速通过CELL时,CELL上的P2O5薄膜会吸收气体中水分,在两组电极通电后,被吸收水分子会被电解,从而产生电流。根据法拉第原理,由电流换算出CELL所吸收◤的水分,即可精确地测量出所采样气体中的水分含量。

                专利的气路设计

                在进行气体采样时,TRACER的旁路系统(美国专利号5199295)可自动调节CELL中的水分浓度,使CELL中的水分浓度保持恒定,由此在测量过于干燥的气体时,CELL也不会因过于干燥而发生裂变。

                专利气路设计的优势

                TRACER拥有极快的响应速度

                延长了CELL的使用寿命

                TRACER 的应用

                半导体制造

                惰性气体及特殊气体检测

                研发实验室

                部件及系统测试

                仪器特性

                模块化【配置

                低成本使用

                操作简便

                在线服务

                便携式

                技术指标

                检测范围

                惰性气体 :0-2000ppbv

                氧气:0-1200ppbv

                氢气:0-500ppbv

                准确性:

                惰性气体模式→:计数的4%或4ppb,取大值

                氢气或氧气模式:当读数小于50ppb时,精确性是读数的6%或6ppb,取大值:当读数大于50ppb时,精确度是读数的2%或2ppb,取大值

                测量极限:1ppbV

                传感器:MEECO公司的counterflow cell(美国专利号:,5198094)

                采样气体种类:空气、氮气、二氧化碳、氢气、氧气、氦气、氖气、氩气、氪气、四氟化碳*、甲烷*、非毒性和腐蚀性气体(带*气体在使用时须谨慎,使用前请咨询MEECO公司)

                采样气√体进口压力:30-150PSIG(2-10.2BAR)

                流量控制:内含质量控制器,推荐气体流量在1200SCCM以上

                信号输出:0-5V模拟输出,RS-232或RS485通讯端口

                操作界面:5键操作

                气体接口:1/4”VCR

                使用环境:10-40℃,20%-80%的相对湿度,无凝结、无毒性的大气

                仪器尺寸:19长*17宽*7高 英寸

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