ZEISS一百多年的骄人历史从发明世界上首台显微镜开始。一个世纪后的今天，ZEISS仍致力于为用户研发最具创造力的显微镜系列产品。通过我们不断改进的显微技术，我们正在为全世界的用户开拓一条探索微观世界的道路。今天的显微镜与以往相比，它们的成像质量更好、效率更高、机械性能更加稳定，并且更加环保。

总体描述：

Smartproof 5快速转盘共聚焦显微镜以共聚焦光学为基本原理，采用独创的高速转盘扫描技术为成像方法，将高分辨率与速度完美结合在一起，是一款能够快速提供工业零部件表面三维轮廓，并可实现非接触式表面粗糙度测量的精密分析仪器。

Smartproof 5拥有业内最佳的高分々辨率和高速度共聚焦系统，专利的转盘共聚焦技术有效地减少获取分析结果的时间。集成和稳固设计确保无附加防振设备下能够在不同环境■中安装并使用，独有的操作者模式适合工业生产的批量检测任务，能够极□大地提高检测效率。蔡司以她最尖端的光∞学技术和基于用户的设计理念，再次向世界证明了光学领导品牌的地位。

产品特点

l 高分辨

由于采用了共聚焦成像原理，Smartproof 5将传□　统光学分辨率提高1.4倍，其XY方向线分辨率达到130 nm。

l 高测量精度

同时，在充分利用共聚焦能提供高度信息的基础上，Smartproof 5配备了精度→高、重复性好的Z轴自动步进装置，最小步进精度达到1nm，这使得高度上亚微米，甚至纳米尺度的非接触式精确测量成为可能。

l 高速扫描

传统共聚焦采用点扫描成像，速度较慢；而Smartproof 5采用转盘扫描，成像速度大大提高，最快的高精度模式扫描速度超过50幅/秒（2048*2048分辨率），可以说瞬间即可得到测量结果，大⌒　大提高工作效率。

l 真实色彩还原

还可▓使用三色LED 光源，能够展现被测试样表面的真实颜色，从而将传统黑白共聚焦扫描显微镜拓∮展到更广阔的应用领域。

技术参数：

1.波长：405nm

2.分辨率：120nm

3.Z轴最小步进精度：1nm

4.成像速度：常规共〓聚焦的2-3倍

5.物镜：2.5x-100x

6.高度扫描范围：高达5mm

7.载物台：150mm×150mm超大行程

8.控制系统：Smartproof5应用软件

9.图像处理和数ㄨ据测量：

2D：距离，高度，角度，构造元素，基于ISO4287的ζ　轮廓粗糙度

3D：水平距离，3D距离，高度，角度，构造点，面积，体积，基于ISO25178的面粗糙度

其他：水平调整，形状去除，滤波，去噪，报告

应用

1. 汽车制造：研究活塞的摩擦磨损、特殊要求的部件表面粗糙度测量、焊接组件及◥接缝处的角度测量

2. 航空航天工业：评价橡胶密封圈的磨损、特殊ぷ要求表面 的粗糙度分析

3. 医疗器械：植入器官的表面测量

4. 微光学/机械制造：敏感精密光学部件的表面测量、精密机械部件的精密几何测量

5. 电子：导线的「几何量测量（宽度，厚度等）、焊接结点的质量过程控制

6. 造纸：纸张以及印刷品的表面测量

应用图例：

激光刻蚀＠ 表面, 带表面纹理图层的3D 彩色编码高▽度图

衍射光学器件, 彩色编码高度图

研磨铝表面,带表面纹理图层的3D显示图

台阶高度标样测试（标准高度1.777±0.011mm，NIST认证），实测台阶高度1.772mm。

粗糙度标样测试结果。标准粗糙度Ra = 2.97mm，实测Ra=2.962mm。