VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。设备标配两个不同大小的真空吸盘，可根据样品尺寸不同选择不同的真空吸盘。VTC-100PA真空旋转涂膜机工作时利用真空盘吸附的方式将样品固定在载样盘上，该设备可储存12组程序，每组程序包含6个运行阶段。不同运行阶段设备转数不同，使设备缓慢提升速度至极限速度，有利于薄膜材料在样品表面均匀成膜，且不会过多浪费，节约材料。VTC-100PA真空旋转涂膜机具有◥操作简单、清理方便，体积小巧等优点，主要应用于各大专院校、科研院所的实验室中进行薄膜的生成过程。
产品名称 | VTC-100PA真空旋转涂膜机 | ||
产品型号 | VTC-100PA | ||
安装条件 | 本设备要求↘在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：设备配↓有进出水口 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地。 3、气：不需要 4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kgs以上 5、通风装置：需要 | ||
主要特点 | 1、真空吸附方式固定样件，操作简便。 2、真空度可以达到-0.08MPa。 3、使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置，以减少偏心而造成的震动或飞片。 4、根据样件规格可以配用不同的吸盘，且更换方便简单。 5、电机采用24V直流无刷电机，无级调速，可靠性高，适应性强，维修与保养简单，噪音低，震动小，运转平稳，启动快速稳定，加速后运行平稳，可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。 6、采用无油双杠真空泵，体积小巧、结构简单、操作容易、维护方便、不会污染环境等优点。 7、腔体采用聚丙烯材质，使用寿命更长，提高耐化学腐蚀性和优异的抗应ζ力开裂性能；机身采用铸▽铝结构，结实耐用且质轻。 8、可在惰性气体气氛（如Ar、N2）下进行涂层。 9、全英文操作系统。 10、具有开〗盖保护功能，当涂膜过程中或涂膜结束时打ζ 开上盖后机器立刻迅速减速直到停止。 11、控制界面采用液晶显示屏 单板机控制系统，数值显示更直观可靠。 | ||
技术参数 | 1、电源：220V 50HZ 2、电机功率：350W/24V 3、速度范围：500rpm-10000rpm 4、程序运行：可储存12组程序，每组程序包含6个运行阶段，每段时间范围：0—60s。 5、增减速率设置范围：100rpm/s-2000rpm/s 6、本机可选配加热功能：RT-200℃的，整个腔体及吸盘都采用聚四氟乙烯材质，更耐高温与腐蚀。 采用聚四氟乙烯材质，上盖集水槽采用聚丙烯材质 温度单独控制，与主机程序控制无关联 | ||
产品规格 | 尺寸：450mm×280mm×340mm；重量：20kg | ||
标准配件 | 1 | 真空吸盘（含O型圈）
| 2个（?19mm和?60mm） |
2 | 中心定位器（含4个定位柱）
| 1个 | |
3 | 滴胶注射器（20ml）
| 1个 | |
4 | 注射器支架 | 1个 | |
5 | 无油真空泵
| 1台 | |
6 | 橡胶管（含卡箍） | 1根 | |
可选配件 | 进口移液器
国产移液枪
其它↙尺寸的真空吸盘
| ||
