产品简介
25KW程序控温感应熔炼炉SP-25TC是一款小型程控感应熔炼系统，配备有直径Φ100mm的石英管、不锈钢法兰、石墨坩埚、真空泵、水冷机和移动架，最大功率为25KW，是生长晶体和合金熔炼（熔点< 1700oC）的理想选择。
主要特点
1、配有可耐1800℃的高纯氧化铝纤维制作的耐火砖，用于支撑石墨坩埚，并防止热量辐射。
2、设♀有自动水压、过热、功率过高保护系统。
3、温控器采用PID方式控温，可设置30段升〇降温程序，设有过热和断偶保护功能。
4、配有防▲腐型真空计，当气压在10mbar以上时，不需因测量气体种类的不同进行系数转换，量程可到3.8×10E-
5torr。
5、配有双旋直连式机械泵。
技术参数
高频感应加热炉
1、工作电压：三相AC 380 V 50Hz（需60 A空气开关）
2、最大输入↙功率：15KW
3、振荡频率：30KHz-80 KHz
4、循环比：80%
5、感应线圈：外径Φ120mm，内径Φ110 mm，高50 mm（可微调）
温度控制器
1、工作电压：AC208V-240V 单相
2、控温精度：±5℃
3、温度：连续工作【温度1000℃-2000℃，最高工作温度1700℃（工作时间<30min）
4、最大升温速率：1℃/s（0-1000℃）、0.5℃/s（1200℃-1700℃）
石墨坩埚（易耗件）
1、高纯石墨坩埚：外径Φ40mm，内径Φ37.1mm，高100.5mm（可选购SiC涂层，涂在坩埚内＠部，以提」高金属熔
炼时的洁净度）
2、最大容量：样品所占容积应为石墨坩埚容积的1/2
石英管和密封法兰
1、石英管：外径Φ100mm，内径Φ92mm，长355mm
2、顶部法兰：不锈钢法兰，装有不锈钢针阀，设有1个铠装接口（可插入热电偶至石英管内部，更准确地测量样
品温度）
3、底部法兰：设有不锈钢针阀和KF25接口（可通过波纹管与真空泵相连接）
水冷机
1、温度：5℃-30℃
2、水流速：16L/min
3、水箱容积：12L，采用不锈钢制作
（建议使用特定的冷却剂液以达到最佳的冷却效果）
真空泵
1、工作电压：AC208V-240V单相
2、抽气速率：120L/min
3、极限真空度：10-2torr
（为了获得更高的真①空度以达到更好的熔炼效果，可选购涡旋分子泵，真空度可达10E-5torr）
注意事项
操作前，必须仔细阅读说明书，且操作人员需带防护面罩。使用时，熔炼必须》在≤0.02Mpa 的流动氩气◆下进行，流量小于200ml/min，需始终Ψ 保持石英管内的气压<0.02MPa。升温过程中需时刻注意石英管内的气压，若气压超过安全值，会引起石英管开裂、法兰蹦出，甚至造成人身伤▅害。
其他事项
本机可改为RTP（快速热处理炉）和混合物物理化学气相沉积（HPCVD）系统。请参看下图。
