产品简介
带滑动法兰三温区CVD系统OTF-1200X-5-III-F3LV可以快速加热至1200℃，并通过调整三个温区而建立不同梯度的热场，可进行←退火、扩散、在不同气氛中烧结样品及CVD等实验。
主要特点
1、双层壳体，配有冷系〗统，炉体采用高纯度卐氧化铝多晶纤维保温材料。
2、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高反射率和保护炉膛洁净度。
3、一端法兰□ 配有滑轨，便于样品装卸；另一端法兰装有数字真空计。
4、采用三个独立PID控制器 ，可以设置30段升降≡温程序，设有过热】和断偶保护功能。
5、已通过CE认证。
技术参数
1、电源：单相AC 208-240V 50/60Hz 7KW（40A保险丝）
2、石英管：外径Φ125mm，内径120mm，长1400mm，带有一对真空密封法兰
3、加热元件：掺⊙钼铁铬铝合金电阻丝
4、加热区域：温区I长229mm，温区II长457mm，温区III长229mm，总长915mm
5、恒温区域：三个温区为同一温度时为625mm，温区II为110mm
6、工作温度：最高1200℃，连续工作1100℃
7、最大升降温速率：20℃/min
8、控温精度：±1℃
9、热电偶：K型
10、浮子〇流量计：3个，量程0-100ml/min、0-160ml/min、0-250ml/min
11、数字真空计：10-4torr
产品规格
尺寸：管式炉1080mm×430mm×600mm
重量：70kg
