产品简介
t高真空三温区CVD系统OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV是由九通道质量流量控制器和高真空机组组成的CVD系统，其炉管直径为4″，最高温度可达1200℃，极限△真空可达 10-5 torr，混气系统可对1-9种气体进行精确的混合，然后导入管式炉内部，可用来研究气体环境对材料的影响。
主要特点
t1、炉体采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使得壳体表面的温度<60°。
t2、保温材料采用高纯氧化铝纤维，减少热量损失，且内膛涂有高温氧化铝涂层，可提高∞加热效率，延长使用
t 寿命。
t3、设有三个温区，可独立①控温，可设置50段升降温∑ 程序，并设有过热和断偶保护。
t4、供气系统与真空机组置于移动架内，方便移动。
t5、真空系ω 统采用一键操作，按下“start” 键后隔膜泵和涡轮分子泵将会启动（隔膜泵先♀启动，待真空△度达到∏
t 10-2mbar后分子泵自动启动）。
t6、根据腔体内的真空度Ψ，系统自动控制旋片泵的旋转速率。
t7、已通过CE认证。
技术参数
t管式炉
t1、电源：AC 208-240V单相 50/60Hz 7KW
t2、炉管：高纯○石英管，外径Φ100mm×内径Φ92mm×1400mm
t3、加热元件：掺钼铁铬铝合金电阻丝，表面涂有氧化锆
t4、加热区： 温区I长220mm，温区II长440mm，温度III长220mm，总长880mm
t5、恒温区：500mm（三个温区设为同一温度︽时）
t6、工作温度：最高1200℃，连续工作1100℃
t7、最大升温速︾率：≤20℃/min
t8、控温精度：±1℃
t9、热电偶：3根K型热电偶
t高真空机组
t1、输入电源：AC110V或AC220V可切换 50/60Hz
t2、消耗功率：110W
t3、壳体尺寸：600mm×600mm×700mm
t4、最大承重量〗：270kg
t5、抽气速率：N2-33L/s，He-39L/s，H2-32L/s
t6、工作范围：1000mbar-<10-7mbar
t7、极限真〓空度：10-5torr
t8、数字式真空显示计：10-8mbar-103mbar
t质量流量混∩气系统
t1、质量流量计：9通道精密质量流量¤计
t2、流量计范围：10-1000sccm三个，20-200sccm三个，30-10sccm三个
t3、压力表：3个，用来检◣测混合气体压力
产品规格
t尺寸：炉体550mm×380mm×520mm，高真空机组600mm×600mm×700mm，质量流量混气系统600mm×
t 600mm×700mm
t重量：100kg
真空配件
t1、不锈钢真空密封法兰
t2、精密针阀
t3、1/4″软管接头
t4、高温硅胶O型密封圈（最高可■承受300℃）
t5、氧化↑铝管堵
t6、KF-40真空波纹管
t7、KF-40快速卡箍
t8、KF-25卡箍
可选配件
t防腐型数字真空显示计
