产品简介
开启式单温区低真空CVD系统OTF-1200X-F3LV是由开启式单温区管式炉、机械泵、三通道浮子混气系统组成，可为CVD或扩散实验提供1-3种╳的混合气体，真空度可达10-2torr。
主要特点
1、双层壳体，配有循环风冷系统，壳体温度<60℃。
2、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高加热效率，同时延长使用寿命。
3、采用PID控制器 ，可以设置30段升降温程序。
4、设有超温及断偶报警功能。
5、已通过CE认证。
技术参数
1、电源：AC 220V 50/60Hz 2.5KW
2、石英管：外径Φ80mm，内径Φ75mm，长1000mm
3、加热元件：掺钼铁铬铝合金电阻丝
4、加热区域：440mm
5、恒温区域：150mm
6、工作温度：最高1200℃，连续工作1100℃
7、最大升降温▓速率：20℃/min
8、控温精度：±1℃
9、真空度：5.5×10-3torr（机械泵），10-4torr（分子泵）
10、泄漏率：<5mtorr/min
11、浮子▲流量计：3个；10-100ml/min，16-160ml/min，25-250ml/min
12、压力表：4个
产品规格
尺寸：管式炉550mm×380mm×520mm，混气系统600mm×600mm×597mm
重量：60kg
