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品　　牌：科晶

适用范围：高教

所在地区：辽宁

产品简介

微型PECVD系统采用Φ 3" × 16" 的石英腔体，内部设有加热圈对样品进行加热，最高温度可以〓达到400℃，且采用程序化控温，系统还配有2通道混气装置和双旋机械泵，整¤套系统安放于移动架上，便于实验操作。本系统系对于薄膜生长和纳米线的制作是最佳的选择。

主要特点

1、加热圈套有石英罩，以减小热量损失。

2、样品可置于加热线圈内，以达到更好的加热效率和温度均匀性。

3、采用PID方式调节温度，可设置30段升降【温程序。

4、设有一滑动♀法兰安装于移动加上，以便于样品的放入和取出。

5、已通过CE认证。

技术参数

等离子源

1、等离子体射频电源：110/220V  50/60Hz  <100W

2、输出频率：13.56MHz

3、射频功率：7.2W、10.5W、18W三档，可调节

4、腔体尺寸：外径Φ76.2mm×内径Φ68.58mm×长406.4mm

5、加热圈：电源220V，最大功率500W，外径Φ50mm×内径Φ40mm×70mm，并套▼有内径Φ50.8mm×Φ75mm

                   的石英罩

6、法兰：Φ3″不锈钢法兰，设有KF-25真空泵接口、1/4″卡套接头、不锈钢针阀

7、通入气体：可通入多种惰性气体，如N₂、Ar，不可通入易燃易爆性气体

8、真空度：10^-2torr（机械泵）

两通道混气系统▆

1、浮子流量计：10-100ml/min，2个

2、针阀：304不锈钢针阀，3个

3、压力表：-0.1-1.0MPa（0.01MPa/grid），3个

真空泵

1、抽气速率：120L/min

2、接口：KF-25

产品规格

1、尺寸：等离子源216mm×254mm×203mm，控制盒102mm×254mm×203mm，两通道混气系统340mm×

                300mm×180mm ，移动架600mm×600mm×1250mm

2、重量：32kg