产品简介
SKJ-50晶体生长炉是用提拉法生长高质量氧化物单晶及金属单晶,如蓝宝石、GGG、YAG、SrLaAlO4、LaAlO3、Si、Ge等,最大可长出晶体尺寸达3" 。
主要特点
1、与同类相比属△于小型晶体生长炉,适合于大专院校、研究所使用。
2、电子称在生长过程中可自动控制晶体的直径。
技术参数
1、电源:三相380V 25KW
2、感应射频:功率25KW,射频0.2-20KHz
3、真空腔体:Φ500mm×700mm
4、真空度:10-3torr(机械泵),10-5torr(扩散泵泵)
5、最大提拉行程:500mm
6、提拉速度:0.1-20mm/h
7、籽晶杆旋转速度:0-40rpm
8、最大可熔融温度:2100℃
9、控温精度:<±0.2℃
10、冷却水:所需水压0.13-0.18MPa,所需流量60L/min
11、移动速度:1mm/h-10mm/h可调
12、快速移动:手动
13、结晶转速:1-50rpm
14、真空系统:机械泵◥和扩散泵
15、极限真空度:10-5torr
产品规格
1、炉体:880mm×1250mm×2850mm
2、控制柜:680mm×540mm×1700mm
3、中频柜:1100mm×500mm×1500mm
4、总重:1500kg