产品简介
1100℃三温区带滑轨8.5″管式炉GSL-1100X-8.5-SR -III是三温区滑轨真空管式炉，可通入混合气体进行低压力化学气相沉积处理。本机可在不同气氛下，在最大6″的基片上生长多种薄膜。
主要特点
1、炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料，环保节能。内炉膛表面涂有美国进Ψ口氧化铝涂层，可以提高设备
的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命。
2、滑轨式法兰结构，方便取放样品。
3、设有双K型测温热电偶【和一个额外的温度校准检测系统。
4、三个加热区域实现更长的温度区和→一个特♀定的温度梯度。
5、采用三个PID控制器 ，通过可控硅来进行温度控制，可以设置30段升降温程序。
6、右端法兰※装载石英管堵，用以阻止热辐射※；左端法兰上设有4片磨砂石英挡片，用于阻止热辐射。
7、已通过CE认证。
技术参数
1、电源：单相220V 8KW
2、石英管：外径Φ216mm，内径Φ208mm，长1300mm
3、加热元件：Ni-Cr-Al电阻丝
4、加热区域：长900mm
5、温区：3个，各300mm长
6、恒温区域：500mm（三个温区设置一样的温度）
7、工作温度：最高1100℃，连续工作400℃-1000℃
8、最大升降温速率：10℃/min
9、控温精度：±1℃
10、真空度：10-2torr（机械泵），10-5torr（分子泵）
11、热偶检测口【：1个
12、真空接口：KF-25
13、进气接口：5路，精密不锈钢针阀密封
14、炉体：1000mm×700mm×1060mm
15、滑轨：600mm
产品规格
尺寸：1780mm×1780mm×1650mm；重量：354kg
标准配件
1、石英管堵
2、KF-25真空挡板阀
3、KF-40不锈钢波纹管
可选配件
1、软件接口¤模块和PC机
2、K型热电偶（Φ6.35mm×915mm，用于对炉膛温度校准）
3、冷水机
