产品简介：RF-300I-LD300W小型自动匹配型射频发生器主要适用于我公⌒ 司制造的VTC-600-2HD双靶磁控溅射仪和VTC-600-3HD三靶磁控溅射仪。RF-300I-LD300W小型自动匹配型射频发生器在工作时将自动匹配器和13.56MHz的射频电源集成在一起，可以自动匹配容抗和感抗，使得安装和操作更加方便容易；输入功率可根据需要自行进行调整◤，调整范围在5W-300W；冷却过程采用空▂气冷却，无需采用其它冷却设备，节约了设█计成；噪音极低，对环境几乎无污染。RF-300I-LD300W小型自动匹配型射频发生器配用本司】的磁控溅射头可自行搭建磁控溅射□ 镀膜仪对样品进行镀膜操作。
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产品型号 |
300W小型自动匹配型射频电源RF-300I-LD |
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技术参数 |
1、电源：AC 110V-240V 50Hz/60Hz 2、输入功率：5W-300W（可调），稳定性±1% 3、射频频率：13.56MHz，稳定性±0.005% 4、匹配：自动匹配，空气电容 5、冷却：空气冷却 6、噪音：<50dB |
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产品规格 |
尺寸：480mm×400mm×140mm
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可选配件 |
1、2"高真空磁控溅射头，可自行搭建RF或DC溅射镀膜仪。
2、同时购买300W射频发射器和█2"磁控溅射头时，本司赠送1个高真空快速接头。接头内径为0.75"，可将溅射 头安装●在真空腔体上，真空腔体上的安装孔直径为1"，真空腔体的壁⌒ 厚不得大于1"。
3、循环水冷¤机，流量为16L/min，水箱容积为6L。 |
