产品简介
4″高真空RTP炉OTF-1200X-4-RTP-HV 是一款精巧型快速热处理管式炉，配有4″石英管及高真【空系统（机械泵+分子泵）， 是专为半导体或太阳能电池基片（最大3”）的退火而设计。本机采用10KW红外灯管加热，最快升温速度为50℃/s，设有30 段温度控制，精度为±1℃。此外，通过RS485口和控制软件可在计算机上实现实时控制和温度曲线显示。
主要特点
1、石英样品架固定在滑动法兰上，使样品装载更加容易。
2、样品架上放置76mm的AlN基片，承载需要退火的样品。AIN具有很高的Ψ热导率，可使样品放置的区域有很好
的温度均匀性（± 5℃）。
3、内插式热偶保证了温度的准确性。
4、采用PID自动↘温度控制，30段程序，并设有过热和断偶保护功能。
5、已通过CE认证。
技术参数
1、电源：炉体单相208-240V，50/60Hz，10KW；高真空系统AC110V/220V任意切换，50/60Hz，110W
2、炉体结构：双层莫来石钢构
3、石英管：外径Φ110mm，内径Φ103mm，长380mm
4、样品架：76mm
5、加热元件：8根红外灯管，灯丝长200mm，丝圈Φ10mm，灯长300mm
6、加热区：102mm×305mm，均匀性±5℃
7、热偶：K型热偶
8、温度：最高温度1100℃，额定温度1000℃，在1000-1100℃下保温时间不得超过600s
9、控温精度：±0.5℃
10、最快升温速度：RT-800℃内50℃/s，800-1000℃内10℃/s
11、高真空系统气动时间：2min
12、真空度：6.3×10-5mbar（在40min中）
13、真空法兰： KF-D25，配有两个高温O型圈密封
14、流量计：16-160ml/min
15、前级泵流速：在10mbar状态下3.8L/min，50Hz；4.4L/min，60Hz
产品规格
炉体：尺寸760mm×330mm×530mm，重量50kg
高真空系统：尺寸：600mm×600mm×700mm，重量18kg
