产品简介
8.5″单温区CVD真空管式炉GSL-1100X-8.5-S是一款炉管外径为8.5″ 的真空管式炉，可以在不同气氛下，在最大6″的基片上生长多种薄膜。
主要特点
1、双层壳体，配有循环风冷系统。炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料，环保节能。壳体温度<70℃。
2、采用不锈钢真空密封法兰，使用双硅胶密封圈进行密封。
3、设有双K型测温热电偶和一个额外的温度校准检测系统。
4、采用PID控制器 ，可以设置30段升降温程序。
5、已通过CE认证。
技术参数
1、电源：AC 220V 8KW
2、石英管：外径Φ216mm，内径Φ208mm，长1016mm
3、加热元件：Ni-Cr-Al电阻丝
4、加热区域： 600mm
5、恒温区域：200mm
6、工作温度：最高1100℃，连续工作400℃-1000℃
7、最大升降温速率：10℃/min
8、热电偶：双K型
9、控温精度：±1℃
10、真空度：10-2torr（机械泵），10-5torr（分子泵）
11、铠装热偶检测口：1个
12、真空接口：KF40
产品规格
尺寸：1000mm×680mm×920mm；重量：250kg
标准配件
1、石英管
2、氧化铝管堵
可选配件
1、软件接口模∏块和PC机
2、石英管
3、石英管堵
4、K型热电偶（Φ6.35mm×915mm，用于对炉膛温度校准）
5、真空泵
