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品　　牌：科晶

制造厂商：沈阳＠科晶设备制造有限公司

适用范围：高教

所在地区：辽宁

产品简介

双管滑动快速加热冷却炉OTF-1200X-4-C4LVS是特殊的双管CVD系统，是专为在金属箔上生长薄膜而设计的，特别适用于新一代能源——柔性金属箔电极方面的研究。本机可通过滑动炉体，实现快速加热和冷却。

主要特点

1、采用高纯 Al₂O₃保温材料，保证了炉膛有极好的温度均匀性，内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层，可以提

     高设备的加热效率及延长仪器的使用寿命。

2、设有双石英管，金属箔缠绕在内管的外表面上，以发生CVD反应。

3、双管的真空密封法兰允许反应气体通过两≡管之间（10mm间隙）发生反应，冷却气体直接通入内管。

4、配有四通道质量流▲量计控制4路气体，及采用KF25快接和波纹管连接的高速机械泵。

5、底部设有滑轨，炉子可以从一端滑向另一端，从而实现》快速升温和降温。

6、样品所在的位置每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。

技术参数

1、电源：单相208-240V AC  50/60Hz  2.5KW（20A保险丝）

2、石英管：外管外径Φ100mm，内径Φ96mm，长1400mm

                   内管外径Φ80mm，内径Φ75mm，长1400mm

3、加热区：440mm

4、恒温区：120mm（双温区炉可获得240mm）

5、工作温度：最高温度1100℃，连续温度1000℃

6、控温精度：±1℃

7、升降温速度：在使用前需要校正工作温度、加热效率、冷却效率

8、真空度：10^-3torr（机械泵），10^-5torr（分子泵）

9、真空法兰：SS304不锈钢，配有两个高温O型圈密封

10、流量计：4路精密质子流量计，气体流量自动控制（数字显示）

                     MFC1范围0-100sccm    MFC2范围0-200sccm

                     MFC3范围0-200sccm    MFC4范围0-500sccm

11、流量精度：0.2%

12、进出气口：1/4″卡套

产品规格

尺寸：550mm×380mm×520mm

重量：138kg

可选配件

1、铜箔（150m×150mm×25μm，生长石墨烯用︼）

2、防腐型数字♂真空计