产品简介
带3路浮子混气RTP管式炉RTP-1000-LV3F是专为半导体基片、太阳能电池及其它样品（尺寸可达 3″ ）的退火☆而设计，配有3路流量计和机械泵。本机采用 9KW的红外灯进行加热，最快升温速度可达 100℃/s，配有RS485 接口，可以通过控制软件在计算机上控制运行并显示温度曲线。
主要特点
1、双层Al2O3纤维钢构，无需水↙冷或风冷。
2、内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层，可以提高设备的加热效率及延长仪器的使用寿命。
3、PID控制器 ，可以设置30段升降温程序∑，并设有过热保护和▲断偶功能。
4、已通过CE认证。
技术参数
1、电源：单相208-240V AC 50/60Hz 9KW
2、石英管：外径Φ110mm，内径Φ103mm，长380mm
3、加热元件：红外灯管，直径Φ10mm，长300mm
4、加热区：300mm
5、工作温度：最高温度1100℃
6、控温精度：±0.5℃
7、最高升温速度「：RT-800℃时为50℃/s，800℃-1000℃时为10℃/s
8、温控仪：可控硅（SCR）PID自动控制
9、真空法兰：不锈钢，带有水冷接口々和针阀，双层高温O型圈密封，长时间在>900℃条件下运行必须采用水
冷，循环水流量为0.5m3/hr
10、真空度：10-3torr
11、流量计：3个，量程40-400cc/min，精度4%FS
产品规格
尺寸：炉体760mm×330mm×530mm，真空混气㊣ 系统600mm×600mm×597mm
重量：45kg
可选配件
防腐型数字ξ 真空计
