产品简介
1100℃双管三温区管式炉（石墨烯生长）GSL-1100X-III-D11-8外炉管直径达到11″，内管直径8.5″，在加热管一端装有一对高真空不锈钢法兰，法兰上配有机械压力表和阀门，三个温区都采用30段可编程数字控温器，并配有K型热电偶进行测温，专门针对于在金属箔上生长薄膜物质。
主要特点
1、双层壳体，配有风冷系统，壳体温度<70℃。内炉膛采用高纯度氧化铝材料，可以最大程度的减少能量的损
失。
2、采用不锈钢真空密封法兰，使用硅胶密封圈进行密封。
3、采用三个PID控制器 ，可以设置30段升降温程序。
4、加热前需将石英管堵放入炉管，防止热量以热辐射的形式散失。
5、使用内管进行薄膜生长可放置最大8″的基片。
6、已通过CE认证。
技术参数
1、电源：单相AC 220V 50/60Hz 8KW（需50A的空气开关）
2、石英管：外管外径Φ279mm，内径Φ269mm，长1300mm，两端打开，可连接法兰
内管外径Φ216mm，内径Φ206mm，长750mm，一端封闭，一端连接气体出入口
3、加热元件：NiCrAl电阻丝
4、加热区域：长900mm
5、温区：3个，各300mm长
6、恒温区域：500mm（三个温区设置一样的温度）
7、工作温度：最高1100℃（<1h），连续工作200℃-1000℃
8、最大升降温速【率：10℃/min
9、热电偶：3个，K型
10、控温精度：±1℃
11、真空度：10-2torr（机械泵）
12、法兰：左侧法兰包括化学气相淀积进气口和冷却气体进出口，右侧法兰设有KF-40真空接口和◇真空阀门
产品规格
尺寸：不包含真空↑法兰1300mm×623mm×940mm，包含真空法兰 1670mm×623mm×940mm
重量：200kg
可选配件
1、石英管堵
2、PC控温软件
3、KF-40转KF-25接头
