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产品报价： ￥180000元

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产品热度：加载中

品　　牌：美国AEP Technology

产品型号：NANOMAP 500LS

适用范围：高教

所在地区：美国

美国AEP Technology公司主要从事半导体检测设备, MEMS检测设备, 光学检测设备的生产制造，是表面测量解决方案行业的领先供应者,专门致力于材料表面形貌测量与检测。
NANOMAP 500LS轮廓仪/三维形貌仪技术特点

• 常规的接触式轮廓仪和扫描探针显微镜技术的完美结合。
• 双模式操作（针尖扫描和样品台扫描），即使⌒在长程测量时也可以得到最优化的小区域三维测图。
• 针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维¤扫描范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。
• 在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察。
• 针尖扫描采用双光学传感器，同时拥有宽阔测量动态范围（最大至500μm）及亚纳米级垂直分辨率　（最小０.１nm ）
• 软件设置恒▼定微力接触。
• 简单的2步关键操作，友㊣　好的软件操作界面。

应用

• 三维表面轮廓测量和粗糙度测量，即适用于精密抛㊣光的光学表面也可适用于质地粗糙的机加工零件。
• 薄膜】和厚膜的台阶高度测量。
• 划痕形貌，磨损深度、宽度和体积定量测量。
• 空间分析和表面纹①理表征。
• 平⊙面度和曲率测量。
• 二维薄膜应力测量。
• 微电子表面分析和MEMS表征。
• 表面质量和缺∩陷检测。