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技术指标 ◆调整维数:X,Y,Z,θx,θz 五维 ◆调整行程:Tx,Ty:25mm,Tz:5mm ◆调整角度:θz:360°,θx :±3° 组合用产品： ASM25-1A平移台 二个 TSMV5-1A升降台 一个 TSMT3-1A 一个 BP－1底板一个
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