SEM-CL时间︾分辨精细阴荧光分析系统是由瑞士attolight公司设计并制造的，并获得R&D top100 大奖。它是：

+  上实现定量测量的阴荧光分析系统 SEM-CL

+  300μm直径的视场

+  优于10nm的空间分辨◣率

+  10ps的时间分辨率

+  Schottky场发射枪（连续系统）和皮秒脉冲光电枪（时间分辨模式）

+  样品温度范围：20K-300K，位移精度1nm

高性能光学与SEM系统：

简单易用，大视野，高分辨

Attolight SEM-CL系统自带有集成了光镜的扫描电子显』微镜（10nm空间分辨率）。光镜被嵌入在扫描电镜的电子物镜，使两者的视场相互匹配。获取阴荧光图从未如此简单：无需〖调准光路，光镜的存在帮助完⊙成了样品定位。系统经过优化，在不牺牲扫描电镜性能的同时获得了优越的阴荧光性能。它提供〗了一个的光学光圈 (f/0.5)，和在整个视场范围内恒定的高光子收集效率。同时，它工作在低电子束的能量范围内 (3-10kV)，可获得更高分辨的阴荧光图。

Schottky场发射电子■枪和皮秒脉冲光电子枪：

连续工作＠ 模式和时间分辨工作模式

电子枪类型是决定电镜性能的重要参数。attolight SEM-CL采用特殊设计的肖特基（Schottky）场发射电子枪，提供高亮度高相√干的电子束，在样品上产生的荧光空间分辨率好于10nm。

Attolight SEM-CL系统还是个具有时间分∮辨选项的阴荧光分析系统，可实现无与伦比的10ps的时间分辨率。时间分辨的阴荧光分≡析系统将是研究光电材料载流子动力学和寿命的工具。

定量测量阴荧光发光

Attolight SEM-CL系统是上能实现定量测量不同样品的阴荧光发光的系统。受益于特的设计，它能＠够甄别并发现超痕量杂质，以及某些在其他成像模式下不可见的晶体缺陷的能力，为研究及开发半导♀体材料、荧光粉、陶瓷、岩石和玻璃提供了新的可能。

工作模式：

– 光学显微镜成像

– 阴荧光♀测绘（多色，单色和高光谱）

– 二次电子测绘

– 时间分辨阴荧光（时间分辨选项）

– 二次电子和︼阴荧光同步测绘

应用领域：

– LED的性能和可靠性

– GaN功率晶体管

– 线位错密度(TDD)

– 载∮流子寿命和动力学

– 太阳能电池的效率

– 纳米尺度光电器件的研发

应用案例：