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规格
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VM-1510
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VM-2010
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VM-3020
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VM-4030
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工
作 台 |
X-Y坐标 mm
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150×100
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200×100
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300×200
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400×300
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金属台面 mm
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354×228
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404×228
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500×330
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606×466
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玻璃台面 mm
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210×160
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260×160
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350×280
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450×350
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Z向调焦范围
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150mm
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传感器
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X-Y向精密光栅尺
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分辨率
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1μm
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测量精度
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X-Y坐标测量示值误差≤±(3+L/75)μm, L －被测长度mm
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光学系统
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变焦物镜0.7×-4.5×
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影像采集
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彩色CCD摄像机
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照明系统
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可调光LED反射及透射照明
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仪器体积mm3
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756*540*860
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756*540*860
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670*660*950
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720*950*1020
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仪器重量kg
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100
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110
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140
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240
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变焦物镜
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附加物镜
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线视场mm
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总放大率
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工作距离mm
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0.7×-4.5×
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—
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10-1.6
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30×-190×
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92
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2×(选)
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5-0.8
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60×-380×
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36
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0.5×(选)
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20-3.2
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15×-95×
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175
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