可以适用各种应用,尤其适合薄膜分析,例如:
· 振动曲线分析和交互空间图
· 反射仪和薄膜相分析
· 残余应力和织构分析
同已经证明的标准版本系统一样,还有许多专门的版本:
· XPert PRO MRD平面衍射系∩统,可以测量与样品表面垂直的晶格衍射
· XPert PRO Extended MRD 允许装备 X射线镜像和在线高分辨单色器,增强入射光束的强度。
· XPert PRO MRD XL 满足半导体,薄膜和高级工业材料的所有高分辨XRD分析需要。
技术参数:
1,功率:3kW
2,测角仪重现性:0.0001度
3,测ζ 角仪类型:T-2T
4,五维样品台